Mer info

Solectro AB är återförsäljare för MAFAC rengöringssystem. MAFAC kombinerar innovativ teknik med mångårig branschkunskap för att kunna leverera exakt den tekniska renhet som både kunder och processer kräver. MAFAC går noga igenom kundens behov och därefter testas och anpassas rengöringssystemet så att det uppfyller kundens behov och processkrav.

Inom halvledar- och optikindustrin är renlighet en kvalificerande förutsättning för alla längs leveranskedjan. MAFAC rengöringssystem anpassar både rengöring och verifiering till relevanta standarder, etablerade testmetoder och interna såväl som kundspecifika specifikationer – och uppfyller dessa krav på ett spårbart, revisionsklart och reproducerbart sätt.

Case study

Renlighet är avgörande. I varje steg i en process.
Oavsett om det gäller halvledare eller högpresterande optik så är renhet mycket mer än bara ett funktionellt krav. Molekylär kontaminering, avgasningsbeteende, jonrester och materialinducerade interaktioner påverkar direkt stabiliteten i dina processer inom nanometerområdet. Även minimal kontaminering påverkar efterföljande processer, så kallad first-pass success, långsiktig stabilitet och kostnadseffektiviteten hos mycket komplex tillverkning.

Krav på renrum och högvakuum gör rengöring med hög renhet till en kvalificerande komponent i krävande processkedjor.

Rester / Kriterier                                                         Standarder / Testreferens
Partikelrester                                                                 ISO 14644 (renrum), VDA 19 / ISO 16232 (testmetodik), kundspecifika partikelgränser
Filmrester                                                                      TOC-analys av filmrester, OEM-specifikationer
Organiska rester                                                            TOC / THC, OEM-specifikationer
Joniska föroreningar                                                      IC-analys (jonkromatografi), OEM-specifikationer
Molekylär kontaminering (AMC)                                   SEMI-standarder (t.ex. SEMI F21), OEM-specifikationer
Avgasning / vakuumkompatibilitet                               RGA (restgasanalys), UHV-specifikationer
Renrumsintegration                                                       ISO 14644, kundspecifika renrumsklasser

Högkvalitativ rengöring med MAFAC rengöringssystem innebär mer än att bara följa specifika gränsvärden. MAFAC förstår samspelet mellan material, ytförhållanden, rengöringskemikalier och processmiljön – och tillämpar konsekvent denna kunskap på anläggningsarkitektur och processkontroll. Med vår tekniska och metodologiska expertis och erfarenhet av känsliga tillämpningar är vi en jämlik partner för komponent- och delleverantörer, systemleverantörer och OEM-tillverkare.

Lösningar för högkvalitativ rengöring av halvledare och precisionsoptik 
- MAFAC rengöringssystem är robusta och har en rengöringsprocess med högkvalitativ rengöring.  
- MAFAC rengöringssystem har en processdesign i flera steg med validerade rengöringsresultat som är direkt överförbara till produktionsmiljön.
- MAFAC rengöringssystem uppfyller tillförlitligt de mest extrema renhetskraven. 
- MAFAC rengöringssystem avlägsnar partikelformiga, filmiska, organiska, joniska och molekylära föroreningar.
- MAFAC rengöringssystem hanterar avlägsnar även partiklar i submikrometer- och nanometerområdet.
- MAFAC rengöringssystem kontrollerar bak- och korskontaminering. 
- MAFAC rengöringssystem har kontrollerade processförhållanden med definierat luft- och vattenflöde och tydlig separation av känsliga processteg.